等離子清洗機處理晶圓要注意的問題
日期：2019-08-06 點擊數：
等離子表面處理對晶圓產品來說最主要的功能就是超清潔效果/活化效果但是因為在晶圓及芯片的特殊性需要注意一下幾點：
（1）晶圓本身耐溫多少度？---對溫度敏感的需要要求等離子表面處理設備增加腔體控溫系統。
（2）耐負壓么？-應為真空等離子清洗機是要抽真空的，防止部分類型芯片抽真空后爆裂損。
（3）耐氧化程度怎么樣？-在測試等離子表面處理工藝的時候若發現氧化、變色，請立即降低放電功率或更改等離子表面處理的工藝氣體種類，使用惰性氣體或還原性氣體。
（4）注意要求等離子清洗機的尺寸和產品合適不合適、有實力的等離子清洗機生產產家都可以定制尺寸的。
（5）注意要求等離子表面處理設備廠家解決托盤的材料使用防震防劃傷類型。
昆山國華電子科技有限公司是家及等離子清洗機生產、研發為一體的專業公司，他們免費提供等離子表面處理的整理解決方案，有需求可以咨詢。
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