等離子清洗設備不起輝的原因是什么？
日期：2019-08-13 點擊數：
等離子清洗設備不起輝主要有兩個方面：
正常工作時真空度一般在70-100Pa之間。
設備出現故障代替反應艙。將其放入艙體內。開主機電源，觀察燈管是否有產生輝光。（此時反應艙體應該為常壓，檢差射頻電源部分有問題，檢查真空系統（如真空管接口是否松動，真空管是否老化漏氣等等）。
等離子處理為什么需要真空環境??
在真空環境產生等離子體的原因很多,主要有有兩個原因：?
引入真空室的氣體在壓力環境下不會電離,?在充入氣體電離產生等離子體之前必須達到真空環境。?
另外,真空環境允許我們控制真空室中氣體種類，控制真空室中氣體種類對等離子處理體過程的可重復性是至關重要的
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